国产光刻机可以达到多少纳米
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国产光刻机可以达到多少纳米(中国首台3纳米光刻机)
正式确认,国内的光刻机完全可以生产5纳米,先进工艺不再是桎梏中国芯片产业长期以来面临先进工艺的瓶颈,尤其在EUV光刻机的缺失下,国产企业曾依赖2000i进行7纳米工艺生产。然而,国内企业并未放弃,通过浸润式DUV光刻机和多重曝光技术,近期海外实验室已证实,这种技术理论上能生产出5纳米甚至更先进的工
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